mems红外光源

2019-06-26 作者:周汤豪

mems红外光源

红外光源以产生红外辐射为主要目的的非照明用电光源,常用于加热、理疗、夜视、通讯、导航和植物栽培等。MEMS即微机电系统,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,是一个独立的智能系统。MEMS红外光源广泛应用于光通信、数字图像处理等,极大的提高了人们的生活质量。

一、MEMS红外光源的特点

1、微型化。MEMS红外光源耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

2、批量生产。用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS,批量生产可大大降低生产成本。

3、可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

二、MEMS红外光源相对比于传统光源有哪些优势

1、针对传统光源加热与冷却的物理条件并没有很好的定义的问题,利用辐射自冷却的红外光源研究应运而生,与传导散热相比,辐射散热不需要通过介质实现,因此具有瞬间相应的优点。

2、与传统光源相比,采用热激发电调制的方式,省去了传感体系中的斩波器,在成本、体积、电源功率以及电路复杂性上都有了很大的改进。

3、红外光源与MEMS工艺兼容,且适合大批量生产,具有成本低廉,性能一致的优点。

以上便是小编为大家介绍的关于MEMS红外光源的知识,希望对大家有所帮助,中国在MEMS红外光源的研究起步比较晚,以及申请专利或者产业化的微型调制光源不多,大多数研究都处于实验室研究阶段,至于器件的最终商品还需要做大量工作,让我们一起期待MEMS红外光源的进一步发展。

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